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内容简介:
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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书籍介绍
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
网站评分
书籍多样性:3分
书籍信息完全性:7分
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请问,能在线转换格式吗?
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挺实用的,给个赞!希望越来越好,一直支持。
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好用,支持
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可以就是有些书搜不到
- 网友 利***巧:
差评。这个是收费的
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还不错啊,挺好
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还可以吧,毕竟也是要成本的,付费应该的,更何况下载速度还挺快的
- 网友 冯***丽:
卡的不行啊
- 网友 林***艳:
很好,能找到很多平常找不到的书。
- 网友 宓***莉:
不仅速度快,而且内容无盗版痕迹。
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书籍真实打分
故事情节:9分
人物塑造:7分
主题深度:3分
文字风格:4分
语言运用:4分
文笔流畅:3分
思想传递:5分
知识深度:7分
知识广度:8分
实用性:9分
章节划分:4分
结构布局:4分
新颖与独特:6分
情感共鸣:8分
引人入胜:7分
现实相关:8分
沉浸感:7分
事实准确性:7分
文化贡献:6分